晶圓微納三維描摹量測聊包養網站比較體系

中圖儀器

深圳市中圖儀器股份無限公司是一家高新技巧企業,努力于全尺寸鏈緊密丈量儀器及裝備的研發、生孩子和發賣。


WD4000晶圓微納三維描摹量測體系經由過程非接觸丈量,將晶圓的三維描摹停止重建,丈量剖析軟件穩固盤算晶圓厚度,TTV,BOW、WARP、在高效丈量測同時有用避免晶圓發生劃痕缺點。可普遍利用包養網ppt于襯底制造、晶圓制造、及封裝工藝檢測、3C 電子玻璃屏及其緊密配件、光學加工、顯示面板、MEMS 器件包養心得等超緊密加工行業。可測各類包含從滑膩到粗拙、低反射率到高反射率的物體概況,從納米到微米級別工件的厚度、粗拙度、平整度、微不雅幾何輪廓、曲率等。

晶圓微納三維形貌量測系統

 

產物技巧

WD4000無圖晶圓幾何量測體系主動丈量Wafer厚度、概況粗拙度、三維描摹、單層膜厚、多層膜厚。

1、應用光譜共焦對射技巧丈量晶圓Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等參數,同時天生Mapping圖;

2、采用白光干預丈量技巧對Wafer概況停止非接觸式掃描同時樹立概況3D層析圖像,顯示2D剖面圖和3D平面黑色視圖,高效剖析概況描摹、粗拙度及相干3D參數;

3、基于白光干預圖的光譜剖析儀,經由過程數值七點相移算法盤算,到達亞納米辨別率丈量概況的部分高度,完成包養app膜厚丈量效能;

4、紅別傳感器收回的探測光在Wafer分歧概況反射并構成干預,由此盤算出兩概況間的間隔(即厚度),可實用于丈量BondingWafer的多層厚度。該傳感器可用于丈量分歧資料的厚度,包含碳化硅、藍寶石、氮化鎵、硅等。

 

WD4000包養網車馬費晶圓微納三維描摹量測體系兼容分歧材質分歧粗拙度、可丈量年夜翹曲wafer、丈量晶圓雙面數據更正確。可完成砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、鈮酸鋰、藍寶石、硅、碳化硅、玻璃分歧材質晶圓的量測。

晶圓微納三維形貌量測系統

 

產物上風

1、非接觸厚度、三維維納描摹一體丈量

WD4000晶圓微納三維描摹量測體系集成厚度丈量模組和三維描摹、粗拙度丈量模組,應用一臺機械便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗拙度、及三維描摹的丈量。

2、高精度厚度丈量技巧

(1)采用高辨別率光譜共焦對射技巧對Wafer停止高包養合約效掃描。

(2)搭配多不受拘束度的靜電放電涂層真空吸盤,晶圓規格可支撐至12寸。

(3)采用Mapping追隨技巧,可編程包括多點、線、面的主動丈量。

3、高精度三維描摹丈量技巧

(1)采用光學白光干預技巧、緊密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法,Z向辨別率高可到0.1nm;

(2)隔振d包養appesign下降空中振包養俱樂部動和空氣聲波振動噪聲,取得高丈量重包養app復性。

(3)機械視覺技巧檢測圖像Mark點,虛擬夾具擺正樣品,可對多點描摹停止主動化持續丈量。

4、年夜過程高速龍門構造平臺

(1)年夜過程龍門構造(400x400x75mm),變動位置速率500mm/s。

(2)高精度花崗巖基座和橫梁,全體構造穩固、靠得住。

(3)要害活動機構采用高精度直線導軌扶引、AC伺服直驅電機驅動,搭配辨別率0.1μm的光柵體系,包管裝備的高精度、高效力。

5、操縱簡略、輕松無憂

(1)集成XYZ三個標的目的位移調劑效能的把持手柄,可疾速完成載物臺平移、Z向聚焦等丈量前準任務。

(2)具有雙重防撞design,防止誤操縱招致的物鏡與待測物因碰撞而產生的破壞情形。

(3)具有電植物鏡切換效能,讓察看變得疾速和簡略。

 

丈量效能

1、厚度丈量模塊:厚度、TTV(總體厚度變更)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、立體度、等;

2、顯微描摹丈量模塊:粗拙度、平整度、微不雅幾何輪廓、面積、體積等。

3、供給調劑地位、改正、濾波、提取四年夜模塊的數據處置效能。此中調劑地位包含圖像校平、鏡像等效長期包養能;改正包含空間濾波、修描、尖峰往噪等效能;濾波包含往除外形、尺度濾波、過濾頻譜等效能;提取包含提取區域和提取剖面等效能。

4、供給幾何輪廓剖析、粗拙度剖析、構造剖析、頻率剖析、效能剖析等五年夜剖析效能。幾何輪廓剖析包含臺階高、間隔、角度、曲率等特征丈量和直線度、圓度形位公役評定等;粗拙度剖析包含國際尺度ISO4287的線粗拙度、ISO25178面粗拙度、ISO12781平整度等全參數;構造剖析包含孔洞體積和波谷。

 

利用場景

 

部門技巧規格brandCHOTEST中圖儀器型號WD4000系列丈量參數厚度、TTV(總體厚度變更)、BOW、WARP、LTV、粗拙度等可測資料砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、 鈮酸鋰、藍寶石、硅、碳化硅、氮化鎵、玻璃、內涵資料等

厚度和翹曲度丈量體系

可測資料

砷化鎵 ;氮化鎵 ;磷化 包養甜心鎵;鍺;磷化銦包養網ppt;鈮酸鋰;藍寶石;硅 ;碳化硅 ;玻璃等

丈量范圍

150μm~2000μm

掃描方法

Fullmap面掃、米字、不受拘束多點

丈量參數

厚度、TTV(總體厚度變 化)、LTV、BOW、WARP、立體度、線粗拙度

三維顯微描摹丈量體系

丈量道理

白光干預

干預物鏡

10X(2.5X、5X、20X、50X,可選多個)

可測樣品反射率

0.05%~100

粗拙度RMS重復性

0.005nm

丈量參數

顯微描摹 、線/面粗拙度、空間頻率等三年夜類300余種參數

膜厚丈量體系

丈量范圍

90um(n= 1.5)

景深

1200um

最小可測厚度

0.4um

紅外干預丈量體系

光源

SLED

丈量范圍

37-1850um

晶圓尺寸

4″、6″、8″、12″

晶圓載臺

防靜電鏤空真空吸盤載臺

X/Y/Z任務臺過程

400mm/400mm/75mm

懇請留意:因市場成長和產物開闢的需求,本產物材料中有關內在的事務能夠會依據現實情形隨時更換新的資料或修正,恕不另行告訴,包養金額未便之處敬請體諒。


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光學3D概況輪廓儀非接觸丈量,高精度捕獲細節,疾速采集數據,SuperView長期包養W系列知足多樣化需求,實用于科研、產業等多範疇,完成高精度、年夜尺寸及特別需求丈量。
起首,三坐標丈量機在精度把持方面能供給靠得住的數據基石。智能制造誇大高精度精準的生孩子經過歷程,而三坐標丈量性能夠以微米甚至更高的精度丈量復雜零件的幾何外形、尺寸和地位精度。這使得生孩子線上的每一個環節都能獲得嚴厲的東西的品質把控,確保產物的分歧性和高東西的品質。例如,在car 智能制造中,三坐標丈量機可以準確丈量動員機零部件的尺寸,確保動員機的機能和靠得住性,從而晉陞整車的包養網站品德。其次
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在古代產業制造與年夜型工程扶植範疇,年夜尺寸部件的裝置精度是至關主要的環節。從航空航天飛翔器的組裝,到年夜型橋梁的鋼梁架包養sd設,再到高精度機床的零部件裝包養網單次置,一絲一毫的誤差都能夠招致嚴重的后果。而激光跟蹤儀,作為一種進步前輩的丈量裝備,為處理年夜尺寸部件裝置精度丈量題目供給了幻想的道路,深受客戶追蹤關心。高精度丈量需求的驅動對于客戶而言,年夜尺寸部件裝置精度的丈量是確保項目東西的品質和機能的要害。在航空航天範疇,飛機機翼與機身 包養感情
高精度二維長度丈量技巧在緊密制造業中至關主要,測長機作為高精度長度丈量東西,可完成對工件尺寸和形狀的準確丈量,進步產物東西的品質和生孩子效力。測長機具有高精度、重復性好等特色,可利用于多種緊密制造範疇。將來,測長機技巧將不竭更換新的資料和完美,為緊密制造範疇的成長供給無力支撐。
顯微丈量是應用顯微鏡對渺小尺寸和外形停止高精度丈量的技巧,在進步前輩制造業中具有主要意義。它為制造業供給了正確、靠得住的丈量手腕,輔助企業完成更高程度的制造和更高東西的品質的產物。跟著科技的不竭提高,顯微丈量技巧無望在將來獲得更年夜的衝破和利用。
VX9700光學掃描成像丈量機紅、藍、綠三色光源知長期包養足分歧色彩PCB丈量需求。高遠心度雙側遠心鏡頭晉陞數倍精度,一鍵丈量新動力車PCB輪廓度、地位度、外形尺寸。
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SuperViewW1白光干預儀聯合數字圖像處置技巧和三維重建算法來進步丈量的精度和效力,揭秘并丈量坑的描摹,為迷信研討和工程實行供給更無力的支撐。
納米級丈量儀器在納米科技研討範疇中飾演側重要的腳色。經由過程共聚焦顯微鏡、光學輪廓儀等的應用,科研職員們可以或許加倍深刻地清楚納米世界的奧妙。
針對磨損區域較年夜、坡度也較為峻峭的生物摩擦和流體摩擦範疇,采用中圖VT6000系列共聚焦顯微鏡加倍婚配,其遠勝于光學3D概況輪廓儀的年夜角度丈量才能和超景深察看效能,可以或許輕松勝任磨損較為嚴重的概況描摹檢測,從而輔助研討職員加倍精準的把握磨損量評價數據。
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